全部作者	陳 美汝
論文名稱	Si-doped AlN Thin Film Prepared by Helicon Sputtering System
研討會名稱	International Electron Devices and Materials Symposium (IEDMS) 2011
舉行地點	台灣，中華民國Taipei(台北市)
會議開始時間	2011-11-17
會議結束時間	2011-11-18
作者順序	第三作者