全部作者	陈 美汝
论文名称	Si-doped AlN Thin Film Prepared by Helicon Sputtering System
研讨会名称	International Electron Devices and Materials Symposium (IEDMS) 2011
举行地点	台湾，中华民国Taipei(台北市)
会议开始时间	2011-11-17
会议结束时间	2011-11-18
作者顺序	第三作者