全部作者	陳 美汝
論文名稱	以迴旋濺鍍系統於藍寶石基板沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之研究
研討會名稱	2012年中國材料科學學會年會
舉行地點	中華民國雲林縣虎尾鎮
會議開始時間	2012-11-23
會議結束時間	2012-11-24
作者順序	第三作者