全部作者	陳 美汝
論文名稱	以迴旋濺鍍系統在藍寶石基板成長矽摻雜氮化鋁薄膜之特性研究
研討會名稱	102年中國材料科學學會年會
舉行地點	中華民國桃園縣中壢市
會議開始時間	2013-10-18
會議結束時間	2013-10-19
作者順序	第四(以上)作者