全部作者	陈 美汝
论文名称	以回旋溅镀系统在蓝宝石基板成长矽掺杂氮化铝薄膜之特性研究
研讨会名称	102年中国材料科学学会年会
举行地点	中华民国桃园县中坜市
会议开始时间	2013-10-18
会议结束时间	2013-10-19
作者顺序	第四(以上)作者