全部作者	陈 美汝
论文名称	Low-temperature deposition of AlN on sapphire substrates using Helicon Sputtering System
研讨会名称	2009 International Electron Devices and Materials Symposia
举行地点	台湾，中华民国桃园县龟山乡
会议开始时间	2009-11-19
会议结束时间	2009-11-20
作者顺序	第一作者